青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
賣家服務(wù)時間
9:00--17:00
價格：
行業(yè)分類：機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/電子產(chǎn)品制造設(shè)備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別：
品 牌：福潤德
規(guī)格型號：
庫 存：
生 產(chǎn) 商：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
產(chǎn) 地：中國山東省青島市
滿足半導(dǎo)體集成電路，電力電子器件，光電子等行業(yè)用于在硅片上淀積SiO2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜工藝。 CVD系統(tǒng)性能特點(diǎn)：
結(jié)構(gòu)形式：1—4管臥式熱壁型
硅片規(guī)格：2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
溫度范圍：300～1100℃
恒溫區(qū)長度及精度：200ram—1000mm(±1℃／24h)
淀積薄膜均勻性：片內(nèi)±5％ 片間±5％ 批間±5％
沉積膜厚度：600～15000A
系統(tǒng)極限真空度：優(yōu)于1Pa
工作壓力范圍：20～133Pa閉環(huán)控制
控制方式：工業(yè)微機(jī)
送料裝置：懸臂推拉舟、軟著陸系統(tǒng)
淀積薄膜分類：Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜
真空泵：羅茨泵、機(jī)械泵
工藝氣路：5路氣／管。VCR接口
40KHz脈寬調(diào)制AE高頻電源
裝片量：200片／舟
規(guī)格參數(shù)
行業(yè)分類：
機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/電子產(chǎn)品制造設(shè)備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別：
品 牌：
福潤德
規(guī)格型號：
庫 存：
生 產(chǎn) 商：
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
產(chǎn) 地：
中國山東省青島市
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