青島福潤德微電子設備有限公司
賣家服務時間
9:00--17:00
價格：
行業(yè)分類：機械及行業(yè)設備/電子產(chǎn)品制造設備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別：
品 牌：福潤德
規(guī)格型號：
庫 存：
生 產(chǎn) 商：青島福潤德微電子設備有限公司
產(chǎn) 地：中國山東省青島市
LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。 主要性能指標：
外型形式：臥式1—4管結構，水平爐管
工作溫度：200℃—1100℃
恒溫區(qū)長度：≥600mm
硅片規(guī)格：適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區(qū)精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))
單點溫度穩(wěn)定性、重復性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內(nèi))
溫度過沖平衡：載料進爐，溫度平衡到工藝時間，低于10分鐘
工藝氣體及控制：氮氣、氧氣，MFC或浮子流量計控制
氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PaM3/S
送料機構：懸臂石英桿載料，手動
報警系統(tǒng)：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
控制方式：工控機總程控制、觸摸屏控制
規(guī)格參數(shù)
行業(yè)分類：
機械及行業(yè)設備/電子產(chǎn)品制造設備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別：
品 牌：
福潤德
規(guī)格型號：
庫 存：
生 產(chǎn) 商：
青島福潤德微電子設備有限公司
產(chǎn) 地：
中國山東省青島市
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