電子超純水設(shè)備

電子超純水設(shè)備

電子超純水設(shè)備是保證電子產(chǎn)品質(zhì)量安全、促進電子業(yè)健康運行的依據(jù)主要應(yīng)用于電子制造業(yè)，如集成電路生產(chǎn)中超純水清洗硅片、半導體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工等。其制備過程主要包括預處理、反滲透、初級離子交換和精制循環(huán)水系統(tǒng)等步驟。

電子超純水設(shè)備的應(yīng)用

1.電子超純水設(shè)備是保證電子產(chǎn)品質(zhì)量安全、促進電子業(yè)健康運行的依據(jù)，適用集成電路生產(chǎn)中超純水清洗硅片、半導體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工。

2.電子超純水設(shè)備以其水質(zhì)高、制水方便等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于電力、電子、光伏、半導體等行

業(yè)。

電子超純水設(shè)備的制備過程、1.電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預處理系統(tǒng)、ro反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(edi電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。

2.電子超純水的制備一般可分為三個階段:前級處理、反滲透、初級離子交換和精制循環(huán)水系統(tǒng)。

三、電子超純水設(shè)備的特點

1.電子超純水設(shè)備采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為:原水一多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備一混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水

點。

2.電子超純水設(shè)備是為了保證電子產(chǎn)品的質(zhì)量安全，促進電子行業(yè)的健康運行。電子級超純水中國國家標準 (gb/t11446.1-1997)電子工業(yè)用超純水設(shè)備工藝流程一、預處理→陽床→陰床→混合

床。