從三個(gè)敏感選項(xiàng)中選擇，實(shí)現(xiàn)精確的高阻抗和低電流測(cè)量。5? 位 6514 型和 6517B 型靜電計(jì)提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測(cè)量，以及低至 10fC 的電荷測(cè)量。6? 位 6430 型亞 fA 遠(yuǎn)程 SourceMeter SMU 儀器能夠以 1aA 的靈敏度測(cè)量電流。其噪聲低、偏差小，非常適用于研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學(xué)應(yīng)用。

特點(diǎn)
優(yōu)勢(shì)
超低噪聲（6430 為 0.4  f  A p-p ，6517B 和 6514 <1fA） 確保對(duì)設(shè)備和材料研究中常見的超低電流實(shí)現(xiàn)更精確的測(cè)量。
高達(dá) 10 16 ? 的電阻測(cè)量 (6517B) 精確測(cè)量超高電阻材料和絕緣體。
遠(yuǎn)程預(yù)放大器可以位于信號(hào)源 (6430) 允許直接或短暫連接到信號(hào)源，較大限度地減少電纜噪聲等噪聲源。
低輸入端壓降 消除影響低電流測(cè)量精度的誤差。
內(nèi)置 ±1kV 電壓源，提供掃描功能 (6517B) 簡(jiǎn)化了執(zhí)行泄漏、擊穿和電阻測(cè)試，以及對(duì)高電阻率材料執(zhí)行體積 (?-cm) 和表面電阻率 (?/square) 測(cè)量的過(guò)程。
適用于測(cè)量試樣材料的體積和表面電阻的選配 8009 型電阻率測(cè)試盒 (6517B) 防止您接觸潛在危險(xiǎn)電壓 — 打開測(cè)試盒蓋子時(shí)自動(dòng)關(guān)閉儀器的電壓源。
即使在低電平信號(hào)上也能實(shí)現(xiàn)高測(cè)量速度 支持更快的低電平元器件測(cè)試。
可編程數(shù)字 I/O 和內(nèi)置接口 簡(jiǎn)化構(gòu)建自動(dòng)化元器件測(cè)試系統(tǒng)的過(guò)程。